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提出了与纯扩散、反应扩散及混合扩散控制相关联的Biot数表征方法用来表征样品的厚度,建立了真空渗碳/渗氮过程体扩散系数D和界面传递系数β的阻抗谱模型,用于过程的原位表征.仿真与实验结果表明:阻抗谱形状特点与Biot数关联,可判断扩散机制,并且能准确获得体扩散系数D和表面传递系数β的数值.