【摘 要】
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２５６Ｍ ＤＲＡＭ单晶铝布线据《学会志》１９９２年第１２期报道，日本东芝公司已研制成在绝缘膜上形成单晶铝布线的技术。以前的多晶铝布线，在晶粒间界集中电流和应力，容易引起破断，可用于线宽０．３卜ｍ左右的ＬＳＩ。在
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２５６Ｍ ＤＲＡＭ单晶铝布线据《学会志》１９９２年第１２期报道，日本东芝公司已研制成在绝缘膜上形成单晶铝布线的技术。以前的多晶铝布线，在晶粒间界集中电流和应力，容易引起破断，可用于线宽０．３卜ｍ左右的ＬＳＩ。在该技术中，在硅氧化膜上制作细沟，沉积铝膜...
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