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直拉法硅单晶生长过程中,由于杂质的带入常会导致石英坩埚发生析晶现象,严重影响单晶硅棒的拉制。为了分析该现象,本文借助于石英析晶的机理,探讨了石英坩埚发生析晶现象的具体原因与应对措施。影响直拉法石英坩埚发生析晶的因素包括操作规范、坩埚质量及外界因素等。
直拉法硅单晶中石英坩埚析晶问题的探讨
【摘 要】
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直拉法硅单晶生长过程中,由于杂质的带入常会导致石英坩埚发生析晶现象,严重影响单晶硅棒的拉制。为了分析该现象,本文借助于石英析晶的机理,探讨了石英坩埚发生析晶现象的具
【机 构】
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山西潞安太阳能科技有限责任公司
【出 处】
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河南科技
【发表日期】
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2014年04期
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