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研究了高反射膜在多脉冲激光作用下损伤的累积效应．实验中使用1064nm调Q的Nd：YAG激光器，脉宽是12ns，频率为10Hz．实验发现：高反射膜的损伤阈值随辐照脉冲数增加而降低，表现出明显的累积效应．通过对损伤阈值和损伤概率以及辐照次数的统计性研究，并结合单脉冲辐照的结果，说明了存在于薄膜中微小的缺陷参与了多脉冲激光对薄膜的损伤过程，得到了制备IBS高反射膜的损伤闽值和照射次数的关系式，用Nomarski偏光显微镜观察了实验过程中样品的损伤形貌，发现是典型的缺陷损伤．