蒸发条件对碘化铅多晶薄膜结构的影响

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采用真空蒸发法在普通玻璃上制备了PbI2多晶薄膜.研究了蒸发速率、蒸发源与衬底距离、薄膜厚度以及衬底温度等实验条件对所制备PbI2多晶薄膜结构的影响.利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对样品进行了测试.结果表明,在衬底温度为室温时得到(001)择优取向的多晶PbI2薄膜,即沿c轴垂直衬底方向取向生长的薄膜.当衬底温度升高时,薄膜的择优取向逐渐由(001)转向(003),且晶体颗粒变大.薄膜中的内应力随衬底温度的升高而降低.
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