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在普通玻璃钝化管芯工艺基础上研制出了快速恢复玻璃钝化管芯.重点分析快速恢复玻璃钝化(FRGPP)二极管管芯制造过程中扩散工艺的调整、玻璃粉的选择以及LPCVD工艺的必要性.
FRGPP管芯的研制
【摘 要】
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在普通玻璃钝化管芯工艺基础上研制出了快速恢复玻璃钝化管芯.重点分析快速恢复玻璃钝化(FRGPP)二极管管芯制造过程中扩散工艺的调整、玻璃粉的选择以及LPCVD工艺的必要性.
【机 构】
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山东省半导体研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年6期
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