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介绍了一种激光直写机特殊样品套刻的样品台,解决了以往激光直写对薄片和小片套刻的不便,提高了对特殊样品套刻的精度和效率。
一种激光直写机特殊样品套刻的样品台
【摘 要】
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介绍了一种激光直写机特殊样品套刻的样品台,解决了以往激光直写对薄片和小片套刻的不便,提高了对特殊样品套刻的精度和效率。
【机 构】
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兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室
【出 处】
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高校实验室工作研究
【发表日期】
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2015年4期
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