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主要研究静电激励／电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题，推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型，分析谐振梁的同频干扰问题，建立其等效电路模型，提出一种基于双端激励／双端检测的结构，能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰．
微谐振梁的激振与拾振研究
【摘 要】
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主要研究静电激励／电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题，推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型，分析谐振梁的同频干扰问题，建立其等效电路模型，提出一种基于双端激励／双端检测的结构
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年6期
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