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GIS设备中的SF6绝缘气体在电弧、火花等放电作用下，与绝缘材料产生化学分解反应，生成金属氟化物、固态以及气态的低氟化合物。通过对分解产物进行监测，可以预先知晓设备的绝缘状况及准确查找故障气室，从而对故障气室进行隔离处理，使其余设备快速恢复运行，避免大规模停电造成的巨大经济损失，所以对SF6气体分解产物进行监测成为电网安全、可靠运行的一种有力的技术保障。