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掺杂氧化锌（ZnO）薄膜是一种新型的透明导电氧化物（TCO）材料，因有替代氧化铟锡（ITO）的潜能而成为当今TCO材料中的研究热点，其优异的光学和电学性能使其在平板显示器、太阳能电池等光电器件中具有光明的应用前景。文章对ZnO基半导体材料的结构和性能进行了介绍，综述了近年来以ZnO薄膜为基体的n型和P型掺杂的研究进展，并在此基础上对未来的发展方向进行了展望。