【摘 要】
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本文研究了激光精密打孔中，激光束性能、光学及工件系统参数对孔质量的影响。在诸多参数中进行优化选择后，加工出孔径为０．０５～２ｍｍ的精密小孔。在ＴＥＭ＿（ｏｏ）模高质量光束运转时，采用望远镜系统增大聚
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本文研究了激光精密打孔中，激光束性能、光学及工件系统参数对孔质量的影响。在诸多参数中进行优化选择后，加工出孔径为０．０５～２ｍｍ的精密小孔。在ＴＥＭ＿（ｏｏ）模高质量光束运转时，采用望远镜系统增大聚焦透镜前焦面的束半径，进一步改善光束聚焦性能，力０１出２５～３０μｍ的精密微孔。
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