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钛酸系铁电薄膜是铁电薄膜中最重要的一类，其制备技术繁多．虽然很多文献对各种制备技术的优缺点有所论述，对于其适用性则未有全面的分析．本文结合钛酸系铁电薄膜的化学成分特点，对主要的铁电薄膜制备技术进行分类，通过比较分析各种技术的特点，讨论这些技术在实验室基础研究、商业化生产、军工或高附加值产品制备这三方面的适用性，可为铁电薄膜制备技术研究人员在技术选用、方向把握方面提供参考．