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不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响。对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨论。
光刻机投影物镜安装方式研究
【摘 要】
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不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响。对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2011年8期
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