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本文从差分电容式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号的关系,得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件,由此提出了差分电容式微机械陀螺的自激驱动方式并设计了总体电路结构,最后总结了陀螺自激驱动电路的优点以及设计难点.
差分电容式微机械陀螺的自激驱动电路研究
【摘 要】
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本文从差分电容式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号的关系,得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件,由此提出了差分电容式微机械陀螺的自激驱动方式
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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赤峰学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年6期
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