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5. Preparation of Electrode Array by Electrochemical Etching Based on FEM

Preparation of Electrode Array by Electrochemical Etching Based on FEM

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sangyilin

【摘 要】

：

<正>Process technology of multiple cylindrical micro-pins by wire-electrical discharge machining (wire-EDM) and electrochemical etching was presented.A row of r

【作 者】

：

Minghuan WANG Di ZHU Lei WANG 

【机 构】

：

TheMOEKeylaboratoryofMechanicalManufactureandAutomation,CollegeofMechanicalandElectricalEngineering

【出 处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2008年6期

【关键词】

：

电极 电气化学侵蚀 有限元分析 微电极 Electrode array  Electrochemical etching  Finite element met 

【基金项目】

：

Authors acknowledge the financial support from China Aviation Science Foundation （04H52055）.

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<正>Process technology of multiple cylindrical micro-pins by wire-electrical discharge machining (wire-EDM) and electrochemical etching was presented.A row of rectangular micro-columns were machined by wire-EDM and then machined into cylindrical shap

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