【摘 要】
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采用二步法制备SrTiO3晶界层电容器,并对其进行后续热、电和液氮处理,研究处理前后电容器电学性能的变化.实验结果表明,在50 V直流电压和200℃条件下对SrTiO3晶界层电容器进
【机 构】
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湖北大学物理与电子科学学院,湖北理工学院数理学院,太原科技大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(11674086)及贵州省经济和信息化委员会技术创新项目(2017021)资助
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采用二步法制备SrTiO3晶界层电容器,并对其进行后续热、电和液氮处理,研究处理前后电容器电学性能的变化.实验结果表明,在50 V直流电压和200℃条件下对SrTiO3晶界层电容器进行后续快速退火和液氮处理后,其介电常数和介电损耗在基本保持不变的情况下,其绝缘电阻值可得到大幅提升,从最初30 GΩ上升至200 GΩ.通过处理,最后可获得平均介电常数为30000,损耗为0.003,绝缘电阻(50 V测量)为200 GΩ的高性能SrTiO3晶界层电容器.
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