Pt/Au/p-Si溅射薄膜组织结构特征

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luffyzl

【摘要】

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在p-Si衬底上,分别淀积5 nm Au膜和5nmPt膜,形成Pt/Au/p-Si结构,500℃退火后形成硅化物薄膜.采用X射线光电子谱和X射线衍射谱研究薄膜成分和相分布,利用原子力显微镜和高分辨

【作者】

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殷景华蔡伟王明光郑玉峰赵连城

【机构】

：

哈尔滨理工大学

【出处】

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功能材料

【发表日期】

：

2004年z1期

【关键词】

：

Pt/Au/p-Si 薄膜硅化物分布表面和界面结构

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在p-Si衬底上,分别淀积5 nm Au膜和5nmPt膜,形成Pt/Au/p-Si结构,500℃退火后形成硅化物薄膜.采用X射线光电子谱和X射线衍射谱研究薄膜成分和相分布,利用原子力显微镜和高分辨电子显微镜观察薄膜表面形貌和界面结构.测试结果表明,薄膜中含有PtSi相和Au相,表面较平坦,PtSi相形成层状结构,Au原子聚集成岛状结构.

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