论文部分内容阅读
随着半导体技术的不断发展，特征尺寸也不断缩小，光刻对条宽的控制能力在整个半导体技术中显得十分重要，而场发花现象对光刻来说是个较为严重的质量问题，它严重影响了光刻对条宽的控制能力，同时还造成硅片的大量返工，使生产成本增加、产量降低，也使生产的圆片质量可靠性受到置疑。文章对造成场发花现象的原因，场发花造成的影响以及如何避免场发花现象做了一定的解释。