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非对称高频晶闸管和缓冲层技术
非对称高频晶闸管和缓冲层技术
来源 :第十二届全国电技术节能学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuzhoucumt
【摘 要】
:
叙述了非对称晶闸管的提出和发展历史,简述了非对称晶闸管的基本原理,探讨了三氯氧磷等扩散制造缓冲层的方法,并说明缓冲层技术在现代功率半导体器件中的关键作用.
【作 者】
:
潘福泉
高瑞彬
关艳霞
【机 构】
:
锦州市圣合科技电子有限责任公司;沈阳工业大学信息科学与工程学院锦州市圣合科技电子有限责任公司沈阳工业大学信息科学与工程学院
【出 处】
:
第十二届全国电技术节能学术年会
【发表日期】
:
2013年11期
【关键词】
:
高频晶闸管
工作原理
缓冲层技术
制造工艺
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叙述了非对称晶闸管的提出和发展历史,简述了非对称晶闸管的基本原理,探讨了三氯氧磷等扩散制造缓冲层的方法,并说明缓冲层技术在现代功率半导体器件中的关键作用.
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