掺杂比对掺钛氧化锌薄膜结构和光学性能的影响

来源 :山东理工大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：za123aaa

【摘要】

：

利用直流磁控溅射工艺，在室温水冷玻璃衬底和PET衬底上成功制备出了不同掺杂比的掺钛氧化锌（TZO，ZnO：Ti）薄膜．通过X射线衍射谱（XRD）研究了薄膜的结构，用四探针对薄膜的方阻进行了测量，

【作者】

：

刘汉法孙坤峰秦佑杰

【机构】

：

山东理工大学理学院

【出处】

：

山东理工大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2012年6期

【关键词】

：

掺钛氧化锌薄膜红外光谱晶体结构磁控溅射 Titanium-doped zinc oxide thin films infrared spectrum Cr

【基金项目】

：

山东省自然科学基金资助项目（ZR2009GI.015）

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用直流磁控溅射工艺，在室温水冷玻璃衬底和PET衬底上成功制备出了不同掺杂比的掺钛氧化锌（TZO，ZnO：Ti）薄膜．通过X射线衍射谱（XRD）研究了薄膜的结构，用四探针对薄膜的方阻进行了测量，用紫外一可见分光光度计和红外傅里叶变换光谱仪等仪器对薄膜的光学性能进行测试分析，研究了掺杂比对TZO薄膜结构和光学性能的影响．实验结果显示，所制备不同掺杂比的TZO薄膜均为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶薄膜，掺杂比对TZO薄膜的光学性竹有幂著的影响。制备的TZ0薄膜的平均新射率存201寿者

其他文献

节曲线向径按抛物线规律变化的非圆齿轮设计

提出一种主动轮节曲线向径按抛物线规律变化、从动轮与其共轭的新型非圆齿轮传动，根据封闭非圆齿轮的传动条件，推导了节曲线方程、弧长计算式．通过编程分析了各基本参数对非圆齿

期刊

非圆齿轮抛物线传动比节曲线封闭基本参数non-circular parabola speed-ratio closed pitch curve ba

浅议当代美学与当代艺术家的联系

经过时代的洗礼，当今的美学已具备了当代的特征。当代艺术家正在亲近美学，这是时代的召唤。当今的美学能够回答当代社会实践、艺术实践和现实生活提出的有关美的问题。

期刊

美学艺术家艺术作品

安徽香泉台气氡映震能力分析

安徽省香泉台为地震地下流体综合台，2000年1月进行了数字化改造，现有气氡、动水位、水温等数字化测项。

期刊