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研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米氮化硅粉体。实验证明,纳米氮化硅粉体具有很多奇异物理性能和光谱特性。
激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究
【摘 要】
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研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米氮化硅粉体。实验证明,纳米氮化硅粉体具有很多
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所
【出 处】
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中国粉体技术
【发表日期】
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2003年04期
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