论文部分内容阅读
研究了通过梯度煅烧制度改善薄膜开裂问题的方法和机理.实验在Al2O3基片上采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了PZT铁电薄膜,发现薄膜的开裂程度随预烧制度的不同而存在明显的差别.结果表明,通过选择薄膜的预烧温度,使各个薄膜层的预烧温度呈梯度分布,可减小薄膜中的应力,从而改善薄膜的开裂情况.
梯度煅烧对PZT铁电薄膜表面形貌的影响
【摘 要】
：
研究了通过梯度煅烧制度改善薄膜开裂问题的方法和机理.实验在Al2O3基片上采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了PZT铁电薄膜,发现薄膜的开裂程度随预烧制度的不同而存在明显的差别
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2004年期
【基金项目】
：
北京科技大学校科研和教改项目;国家重点基础研究发展计划(973计划)
其他文献
Riku M.M.等提出的FDTD的亚网格细导线精确算法,可以对给定直径的金属导线的电磁特性作精确计算.本文证明了由该算法格式计算的细线周围的电磁场分量,可以直接用于改进减缩时
采用水热腐蚀技术制备了硅纳米孔柱阵列(siliconnanoporouspillararray,Si-NPA),并以此为衬底通过浸渍沉积制备出一种具有规则表面结构的铜/Si-NPA纳米复合薄膜(Cu/Si-NPA).
1 Introduction A variety of Pd(Ⅱ)-catalyzed oxidative transformations of alkenes with oxygen nucleophiles are catalyzed by PdX_2 (X=OAc, Cl, etc) with CuX_n (n
目的建立肤得乐凝胶剂中次乌头碱的含量测定方法.方法采用高效液相色谱法测定次乌头碱的含量,色谱柱为ODS柱;流动相为甲醇-0.1%三乙胺(80:20);检测波长230nm.结果次乌头碱在0
利用阳极氧化铝(AAO)模板,采用电化学沉积方法制备出了ZnS纳米线阵列.扫描电子显微镜(SEM)结果显示,AAO模板孔洞分布均匀,孔径基本一致(约50 nm),孔口呈六边形.TEM结果显示硫
研究与可允许群相关的Clifford代数值的可允许小波.用Fourier变换的语言对可允许条件进行精确描述,给出该类可允许小波变换的Plancherel公式、再生公式、再生核,并给出了关于
正名缘起于孔子.孔子提出正名的理论,来匡正社会的时弊.孔子提出正名思想正是以春秋时代,特别是春秋后期的社会情势为其缘的.本文论述了孔子提出正名的目的,标准和具体的规范
分析高功率激光器中笔形光束的成因及其潜在危害的规律,提出一种减少(或消除)空间滤波器中笔形光束的技术措施--倾斜透镜法.用增广矩阵法计算非共轴光路笔形光束会聚点位置并
研究一类奇异边值问题解的存在性及解的迭代,得到C[0,1]正解和C1[0,1]正解存在的充分必要条件.从本质上改进和推广了赵增勤1998年的工作.