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我们采用电子束曝光和氩离子刻蚀技术制备了ＹＢＣ纳米桥，在此基础上得到高温ｒｆＳＱＵＩＤ，器件的磁通噪声为４×１０＾－４Φ／√Ｈｚ，磁场分辨率为２．０ｐＴ／√Ｈｚ，对没有三角波的器件，经过ＥＤＴＡ后腐蚀技术对纳米进行弱化处理，部分器件出现了三角波。
YBa2Cu3O7纳米桥rfSQUID
【摘 要】
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我们采用电子束曝光和氩离子刻蚀技术制备了ＹＢＣ纳米桥，在此基础上得到高温ｒｆＳＱＵＩＤ，器件的磁通噪声为４×１０＾－４Φ／√Ｈｚ，磁场分辨率为２．０ｐＴ／√Ｈｚ，对没有三角波的器件，经过ＥＤＴＡ后腐蚀技术对纳米进行弱化处理，部分器
【机 构】
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北京大学物理系人工微结构及介观物理国家重点实验室
【出 处】
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低温物理学报
【发表日期】
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1998年3期
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