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脉冲等离子在溅射方面的应用在过去的几年里日渐盛行.最近,一种新的脉冲等离子技术已被引入到溅射领域.高能脉冲磁控管溅射(HPPMS)可使能量极大的脉冲(可达几兆瓦)在短时间内击中目标,导致溅射物的高度电离.电离物可用于改进镀膜的结构和性能.
脉冲等离子溅射的应用
【摘 要】
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脉冲等离子在溅射方面的应用在过去的几年里日渐盛行.最近,一种新的脉冲等离子技术已被引入到溅射领域.高能脉冲磁控管溅射(HPPMS)可使能量极大的脉冲(可达几兆瓦)在短时间内
【出 处】
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铁道机车车辆工人
【发表日期】
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2005年1期
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