【摘 要】
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<正> 为了满足精密机械加工测量的需要,顺应国际环规标准,北京计量仪器厂和中国计量科学研究院联合研制了C34激光孔径测量仪,其主要技术参数如下: 测量范围:5mm～200mm 不确定
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京计量仪器厂
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<正> 为了满足精密机械加工测量的需要,顺应国际环规标准,北京计量仪器厂和中国计量科学研究院联合研制了C34激光孔径测量仪,其主要技术参数如下: 测量范围:5mm～200mm 不确定度:0.2μm+1×10~(-5)L 现对该产品的工作原理、主要技术性能等做一个介绍。一、原理用稳频氦氖激光作为长度基准,应用法布里腔建立标准内尺寸,使用消阿贝误差的迈克尔逊干涉仪,通过标准内尺寸与被测环规的比较测量,获得高准确度的测量结果,其光学系统如图1。
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