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Effect of oxygen flow rate on the properties of SiOx films deposited by reactive magnetron sputterin
Effect of oxygen flow rate on the properties of SiOx films deposited by reactive magnetron sputterin
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanghuaimin
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
Fachun Lai
Ming Li
Haiqian Wan
【机 构】
:
Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale, and USTC-Shincron Joint Lab,Universit
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2005年8期
【关键词】
:
reactive magnetron sputtering
extinction coefficient
surface roughness
depositio
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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