论文部分内容阅读
聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一，是一个完美的微米／纳米技术研究平台。简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能，着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、离子束辅助沉积、离子注入、微区分析、掺杂和成像以度无掩膜曝光等微米／纳米加工领域的应用，并对未来的发展前景进行了简要分析。
聚焦离子束系统在微米/纳米加工技术中的应用
【摘 要】
：
聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一，是一个完美的微米／纳米技术研究平台。简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能，着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束
【机 构】
：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
：
材料导报
【发表日期】
：
2006年F11期
【基金项目】
：
中国工程物理研究院基金资助课题(课题编号:0344020)
其他文献
“思维症结”指学生在物理探究过程中出现的思维盲区和误区。打开学生的“思维症结”，要改进探究过程。设置新的探究方法，提高探究教学效果。
人种志作为一种质的研究方法,适合日益凸显文化属性的课堂生态研究。英美课堂生态研究者常运用参与观察、访谈、实物搜集等方式获取课堂第一手资料,并倾向于对课堂生态进行整
通过文献资料法、问卷调查法,数理统计法等方法对修文县初中体育课的开展现状,主要从课堂教学方法与学生喜欢体育课、修文县初中体育师资、学校运动会及平时上课开展项目的、
从当前山地风电场的发展情况出发,结合山地风电场风电机组的各种类型以及所发挥的作用,探讨了风电机组的吊装注意事项,分析了风力发电机组安装安全技术措施。
五粮液和中国白酒的发展史册,揭开了新的一页。$$12月18日上午,五粮液第二十三届1218共商共建共享大会在宜宾五粮液酒厂举办。四川省直部门相关领导、行业协会领导、宜宾市领
报纸
目的为研究膀胱病病变的特点，探讨膀胱肿瘤的鉴别诊断，所用材料与方法；分析了２７例膀胱病变的临床资料和ＣＴ表现，结果得到膀胱肿瘤以膀胱癌多见，各种膀胱病可以有瘤样改变，本文结论是ＣＴ临床
超强的营销能力是企业发展的保障,自主创新的高新技术是企业真正崛起的基石,强烈的创造力和创造精神是企业实现跨越式发展的动力。
超常规发展机构投资者,参与公司治理是构建我国公司的外部治理机制的主要思路。本研究以可转债运作为例,阐述了这一治理机制中机构投资者和公司双方的角色定位、利益需求和相
当代锻炼行为理论认为认知因素对锻炼行为决策起主要作用,如锻炼态度、锻炼意图等,然而认知因素并不能完全解释锻炼行为,以认知因素为基础的干预措施往往成为人们的负担而影响长期效力。双重加工模型将信息加工分为两种过程,一种是人们做出理性决策的控制性加工过程,另一种是人们做出非理性决策的自动化加工过程,由此推断锻炼行为决策不仅仅受控制性加工过程中认知因素的影响,也可能受自动化加工过程中非理性因素的影响,如自