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<正> 应用反应离子束溅射镀膜技术制备的以ZrO_2为衬底的Y—Ba—Cu—O,超导薄膜,面积小,厚度薄,其总重量为数百微克。膜中Y、Ba、Cu的原子比对膜的超导性能有着极其重要的影响,因此必须测定薄膜中三元素之原子比。x—RF法对该工作已有报导,本文应用离子选择电极与分光光度法快速测定其原子比,结果与x—RF法一致.