用于扫描探针显微镜的复合型三维压电扫描器

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三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件。本文作者设计制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器,并对扫描器的性能进行了检测。当激励电压为±400V时其扫描范围达到13μm×13μm。其x,y方向的非线性度小于0.36%,z方向的非线性度小于0.14%。这种扫描器被用于扫描近场光学显微镜探测系统中。
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