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采用两种不同脉宽(30 ns,500 fs)的KrF准分子激光淀积类金刚石薄膜, 通过等离子体发射光谱和离子探针的测量, 研究了激光等离子体成分、平均离子能量和通量等随激光能量密度、淀积距离的变化, 对两种脉宽的激光等离子体淀积的薄膜结构和性能进行了比较,并且研究了激光等离子体特性对淀积薄膜类金刚石性能的影响.