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综合不同种类单层金刚石薄膜的典型优点制备的复合金刚石薄膜具有优异的综合性能,本研究对比了UMCD、BDMCD、UFGD和两类新型硼掺杂复合金刚石薄膜的机械性能。研究结果表明：硼掺杂技术可有效改善金刚石薄膜的附着性能,因此BDM-UMCD和BDM-UM-UFGCD薄膜均具有较好的附着性能;表层为UMCD薄膜的BDM-UMCD薄膜（84.354GPa）具有UMCD薄膜（82.058GPa）表面硬度极高的优点,但是表面粗糙度较高（Ra304.41nm）、表面可抛光性较差;相比之下,表层为UFGD薄膜的BDM-U