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在太阳电池制备工艺中，多晶硅表面常需要进行绒面处理，在各种不同的工艺中，各向同性腐蚀法由于成本低且易于操作而适宜于大规模生产，已成为当前研究的重点。但不同配比的试剂在不同作用时间及工艺下会得到不同的效果，如何科学地评价这些差异，进而得到最佳的工艺参数用于指导生产实践，具有重要的意义。由于各参数间复杂的非线性耦合关系，使得参数的精确确定成为难题。在充分理解遗传算法（Geneticalgorithm，GA）作用机理的基础上，以人工神经网络（Artificial neural network，ANN）为辅助手段