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通过合理的外延层材料结构设计和改进的器件制备工艺,制备出功率增益截止频率(fmax)为183GHz的晶格匹配InP基In0.53Ga0.47As-In0.52Al0.48As HEMT.该fmax为国内HEMT器件最高值.还报道了器件的结构、制备工艺以及器件的直流和高频特性.
功率增益截止频率为183GHz的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As HEMTs
【摘 要】
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通过合理的外延层材料结构设计和改进的器件制备工艺,制备出功率增益截止频率(fmax)为183GHz的晶格匹配InP基In0.53Ga0.47As-In0.52Al0.48As HEMT.该fmax为国内HEMT器件最高
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划);
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