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采用溶胶-凝胶工艺在Si（111）衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜，利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论．结果表明，当掺杂量Mg^2＋浓度增大时，衍射峰向大角度方向移动；但MgxZn1-xO薄膜仍然是具有（002）择优取向的六方纤锌矿结构．
Mg掺杂ZnO薄膜的晶体结构分析
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺在Si（111）衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜，利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论．结果表明，当掺杂量Mg^2＋浓度增大时，衍射峰向大角度方向移动；但MgxZn1-xO薄
【机 构】
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天津理工大学电子信息工程学院,西北大学电子科学系
【出 处】
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天津理工大学学报
【发表日期】
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2013年4期
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