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文章采用HAZOP风险评估方法,对集成电路生产过程中的安全性进行评估。重点介绍评估过程,并提出注意事项。
基于HAZOP的集成电路安全生产风险评估
【摘 要】
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文章采用HAZOP风险评估方法,对集成电路生产过程中的安全性进行评估。重点介绍评估过程,并提出注意事项。
【机 构】
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北京智芯微电子科技有限公司
【出 处】
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电工技术
【发表日期】
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2019年18期
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