【摘 要】
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文章提出了一种利用亚硫酸钠和氢氧化钠混合溶液处理高纯四氯化硅生产中产生的含氯尾气的处理工艺,该工艺可深度去除高纯四氯化硅生产过程产生的多组分尾气的次氯酸盐成分。
【机 构】
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洛阳中硅高科技有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室
【基金项目】
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河南省科技创新人才计划,洛财预[2017]130号
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文章提出了一种利用亚硫酸钠和氢氧化钠混合溶液处理高纯四氯化硅生产中产生的含氯尾气的处理工艺,该工艺可深度去除高纯四氯化硅生产过程产生的多组分尾气的次氯酸盐成分。检测结果表明处理尾气产生的废水次氯酸根离子浓度去除率可达到98.7%,反应后的混合液不产生氯气。该工艺具有流程简单、可连续化操作、处理量大、适用性强等特点。完全可以满足高纯四氯化硅生产工艺中尾气处理的要求。
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