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总结和比较了当前主要的几种等离子体微观模型:Potapov模型、Eindhoven模型、基于动力学的模型和基于最小吉布斯自由焓原理的模型.前两种模型的理论依据都是道尔顿分压定律、质量作用定律、电荷准中性条件与化学计量平衡条件,但质量作用定律和配分函数的表达式不同;后两种一个是从化学反应动力学的角度,一个是从热力学和统计物理的基本定义出发,来描述等离子体的微观过程.分平衡态和非平衡态阐述了模型的变化;推荐了Eindhoven模型作为工程计算用的首选模型.