【摘 要】
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分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料，采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了SiO2单层膜、ZrO2单层膜和ZrO2／SiO2／ZrO2三层膜。采用
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料，采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了SiO2单层膜、ZrO2单层膜和ZrO2／SiO2／ZrO2三层膜。采用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率，用紫外一可见分光光度计测量了薄膜的透过率，利用TFCalc—Demo模系设计软件，采用三层理论模型对薄膜的透过率进行模拟，用扫描电镜（SEM）观察了三层膜的断面结构，用X射线光电子能谱仪（XPS）测量了薄膜的成分随深度方向的变化，进一步验证了ZrO2／SiO2／ZrO2三层膜之间的渗
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