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对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求。
浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术
【摘 要】
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对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求。
【机 构】
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佛山市华特气体有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2014年06期
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