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为了定标测量系统、提高测量精度,在简要论述了激光球面干涉仪的原理以后,采用移相技术,获得了四幅干涉图,并提取出范围在[-π,π)之间的相位.然后,利用相位消跳变算法,展开得到连续的相位.最后经过消倾斜和离焦等后继处理,得到了系统的波面误差.
激光球面干涉仪系统误差的测量
【摘 要】
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为了定标测量系统、提高测量精度,在简要论述了激光球面干涉仪的原理以后,采用移相技术,获得了四幅干涉图,并提取出范围在[-π,π)之间的相位.然后,利用相位消跳变算法,展开
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年3期
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