【摘 要】
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传统钙钛矿铁电薄膜具有一系列优点的同时也具有较为明显的缺点,主要包括:与Si工艺兼容性较差、物理厚度较大、带隙宽度较小以及非环境友好等.2011年新型掺杂HfO2铁电薄膜的
【基金项目】
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国家科技重大专项项目(2017ZX02301007-001)
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传统钙钛矿铁电薄膜具有一系列优点的同时也具有较为明显的缺点,主要包括:与Si工艺兼容性较差、物理厚度较大、带隙宽度较小以及非环境友好等.2011年新型掺杂HfO2铁电薄膜的出现,为解决上述一系列问题提供了新思路.其中,因铁电性能显著及易于制备,HfO2-ZrO2固溶体(HZO)体系成了重要的研究热点之一.与此同时,在充分考虑制备成本和可控沉积条件之后,研究者发现溅射技术是制备HZO薄膜较为有效的手段之一.该文在利用溅射技术制备TiN/HZO/TiN(MFM)铁电电容结构的过程中发现:下电极TiN粗糙度对新
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