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本文报导了一体化小型XeCl准分子激光器的结构与特性,激光器体积100×40×27cm~3,重量50kg,单脉冲能量160mJ。
一体化小型XeCl准分子激光器
【摘 要】
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本文报导了一体化小型XeCl准分子激光器的结构与特性,激光器体积100×40×27cm~3,重量50kg,单脉冲能量160mJ。
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所合肥,230031,合肥,230031
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1992年2期
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