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机械设计制造工艺及精密加工技术研究
【出 处】
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建筑工程技术与设计
【发表日期】
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2020年14期
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为了提升电容式MEMS微波功率传感器的测量灵敏度,本文充分利用传感器的内部空间结构,提出了一种基于对称双悬臂梁结构的电容式微波功率传感器。根据对称式双梁结构的特点,建立了对称双悬臂梁结构的枢纽式机电模型。研究和分析了对称双悬臂梁结构的测量灵敏度和过载功率。实验结果表明,在悬臂梁初始间距相同的条件下,对称双梁结构的测量灵敏度相较传统单梁结构提高了3倍;同时,通过改变悬臂梁的初始间距,可以实现较大范围