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随着集成电路特征尺寸按比例缩小,其可靠性问题越来越突出。为了避免因集成电路失效而发生灾难性后果,有必要对集成电路进行故障预测与健康管理。首先,介绍了故障预测与健康管理技术的发展概况;然后,阐述了实施半导体级别故障预测与健康管理的两个主要方法：预兆单元法和失效先兆监测推理法,并根据相关案例进行了分析;最后,指出了该技术面临的挑战。