采用扫描电镜的ECP技术分析人工合成金刚石晶体中的晶体缺陷

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本文应用扫描电镜的ECP技术对人造金刚石晶体表面的位错密度,进行了实验分析,并同位错蚀坑分析技术的测量结果进行了比较,结果表明,如采用临界束流强度作为描述ECP本征衬度的参数,则它同位错密度间存在明显定量的数学关系,因此上述临界束流强度可用来评价晶体中位错密度的相对变化。
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