【摘 要】
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由于高精度位移传感器体积大、价格高，系统传递函数复杂难以辨识等因素，目前对于压电驱动的FSM大多通过前馈补偿的方法进行开环控制。为了实现对一种新型三支撑三维FSM的反馈控
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由于高精度位移传感器体积大、价格高，系统传递函数复杂难以辨识等因素，目前对于压电驱动的FSM大多通过前馈补偿的方法进行开环控制。为了实现对一种新型三支撑三维FSM的反馈控制，本文基于电阻应变片构建了反馈信号进行采集的系统，先用电阻应变片采集压电陶瓷得输出位移，然后通过标定系统将其转化为反射镜的偏转角度。并在此基础上，对系统的开环传递函数进行了辨识，得到了一个七阶的传递函数。实验证明，反馈信号采集系统能够兼顾体积和精度，所获得的传递函数能够较好地拟合该系统的动态特性，为后续控制算法的设计实现奠定了很好的基础
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