【摘 要】
：
研制的用于等离子体浸没离子注入(PⅢ)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与
【机 构】
：
哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
研制的用于等离子体浸没离子注入(PⅢ)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了40 kV的高压脉冲与脉冲射频交替输出.工作过程中,通过射频产生等离子体,而后施加高压脉冲获得离子注入,进而实现PⅢ与沉积.该电源系统的性能指标为:高压脉冲电压幅值10～40 kV,脉冲频率10～1000 Hz,射频脉冲宽度0.01～10 ms,射频与高压间隔01～10 ms,高压脉冲功率6 kW,射频脉冲功率1 kW.实验研究表明能够有效的实现PⅢ.本文将介绍该种新电源的设计思想、电路以及在内凹零部件(如管筒内壁)等离子体离子注入等方面的应用.
其他文献
In the past two decades, many studies have focused on the classification within genus Laminaria, ultimately trying to divide it into two subgroups or genera:Lam
本文主要研究基于磁性的CTC捕获芯片中细胞受力情况,提出该类芯片中细胞捕获可分为偏移阶段和吸附阶段,并使用COMOSL软件分析了各个阶段的受力特点。通过模拟计算及实验结果
传统地层学的低分辨率和狭隘的理论外壳,已经成为它进一步发展的严重障碍.综合地层学,以新的理论模式和研究思想,全面的开发和挖掘地层中的信息,它集成当代地层学各分支之大
在全球能源短缺和全球气温不断上升的背境下,新能源的开发和节能环保越来越受到重视.本文主要阐述了太阳能路灯的设计理念、工作过程和调试方法.
通过分析EPON技术及其系统传输信号特点,对上行和下行信号采取不同的硬件电路结构,重点设计了专用硬件电路用于突发尖脉冲信号的捕捉,从硬件上解决了上行突发光信号功率值准
针对动态逆对被控对象模型依赖性较强且鲁棒性较差的缺点,研究了一种非线性动态逆和PID相结合的控制方法,用该方法设计了BTT导弹动态逆-PID控制律。首先,利用奇异摄动理论对
电子中介的出现为多属性商品交易的买方和卖方提供了新的模式和平台，并已成为电子商务活动中的重要渠道。针对电子中介中具有多属性评价信息的商品交易匹配问题．给出电子中介中
A new stochastic volatility (SV) method to estimate the conditional value at risk (CVaR) is put forward. Firstly, it makes use of SV model to forecast the volat
DNA barcoding is a method of identifying species by analyzing one or a few short standardized DNA sequences. There are particular challenges in barcoding plants