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本文介绍一种最新开发出的超灵敏硅压敏流量计,用于薄膜工艺中测量微小气体流量.它利用电容压敏器来测量和控制流量,其制造工艺简单,电容压敏器为厚度2.9μm的应力补偿隔片,司工作在1mtorr～700torr范围内,量程为3±10-8～10-3SCCM.
超高灵敏度硅压敏微流量计
【摘 要】
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本文介绍一种最新开发出的超灵敏硅压敏流量计,用于薄膜工艺中测量微小气体流量.它利用电容压敏器来测量和控制流量,其制造工艺简单,电容压敏器为厚度2.9μm的应力补偿隔片,
【机 构】
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南京55所401室
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2001年2期
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