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近年来,物理气相沉积技术的应用对象不断扩展,处理时基体温度进一步降低,新型镀层、复合镀层、多层镀层大量出现,并通过制备工艺提高摩擦学性能.作者对其发展趋势进行了探讨.
物理气相沉积技术的新进展
【摘 要】
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近年来,物理气相沉积技术的应用对象不断扩展,处理时基体温度进一步降低,新型镀层、复合镀层、多层镀层大量出现,并通过制备工艺提高摩擦学性能.作者对其发展趋势进行了探讨.
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2000年1期
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