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精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要。本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布，理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符，通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场，发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域，磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场。
平面磁控溅射靶磁场的计算
【摘 要】
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精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要。本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布，理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符，通过对比两种不同磁极尺寸
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2008年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（No.50407015）
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